Honghu (Suzhou) Semiconductor Technology Co.，Ltd

Módulo de transferencia de vacío de obleas (VTM)

El módulo de transferencia de vacío (VTM) se utiliza en procesos de vacío como grabado de obleas, deposición (CVD, PVD, ALD), etcétera. Debido a los estrictos requisitos del entorno del proceso, el equipo de transferencia VTM debe cumplir con el vacío ultra alto, la vibración ultrabaja, la resistencia a la corrosión, la resistencia a altas temperaturas y otros requisitos.